?!DOCTYPE html>
ZCS-165QD06
晶圆研磨用超声L气静?/span>永磁同步电主?/span>
一?nbsp;pȝl成
本系l主要是由ZCS-165QD06永磁同步电主_高精度编码器Q?.5KW同步驱动控制器,三_֯qo?I气压力保护开关组成系l?/span>
主u安装方式采用法兰安装方式?/span>
主u冷却采用水冷却方式?/span>
砂轮安装方式详见囄?/span>
二?nbsp;技术特点:
●该气静压电主u采用 ?/span>U米纤l材?/span>”制作的高刚性、大承蝲、低耗气量、自润滑怸损的高_֯气静压(I气轴承Q电主u。其轴向和径向承载力高,耗气量低Q自润滑功能Q具有低绿色环保永不磨损的特点?/span>
●超声L?/span>主u内置声波机构可以自动控制{换超声L工作状态,h提高加工效率、提高表面光z度、g长砂轮用寿命、不易粘砂轮{的Ҏ?/span>
?/span>I气电主轴具有气密封+q宫式防水防结构,密封效果更佳?/span>
●主轴中心配|有中心出水孔,冷却水从轴后端进入前端喷出?/span>
?/span>主u甉|采用永磁同步甉|Q内|高_ֺ~码器,用同步驱动控制器控制实现无调速?/span>
●本pȝ在气路进口加有压力传感器Q具有过、过载、气压低于下限等故障报警保护功能Qƈ且具有和上位机通讯功能Q?span>RS-485Q?/span>
三?nbsp;ZCS-165QD06气静压电主u主要技术指?/span>
1?nbsp;主要技术指?/span>
2?主要_ֺ指标
?/span>?轴头径向跛_?0.1um
?/span>?端面跛_ ?0.2um
?/span>?动^衡精度等U≤ G0.4
?/span>?动态全速度范围内振动V ?0.5mm/s
?/span>?噪声全速度范围??60 dB
?/span>?主u外壳最高温??30 ?/span>
3、特性曲U?/span>
4、品尺?/span>